二次電子分解能 |
- 15 Å(1.5 nm) (30 kv WD = 7 mm)
- 50 Å(5.0 nm) (1 kv WD = 3 mm)
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倍率 |
- 高倍率モード:×50 〜 ×500,000
- 低倍率モード:×20 〜×1,500
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電子光学系 |
- 電子線源:冷陰極電界放射形電子銃
- 加速電圧:0.5 〜 30 kV(100 V ステップ)
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試料サイズ |
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付属機器等 |
- 透過電子検出器
- アニュラー形反射電子検出器
- ラスターローテーション
- モノクロイメージプリンター(感熱記録)
- PC Monitor / PCL システム(平成19年度改修・更新)
・PC Monitor:CRT・SEM 像のデジタル化,液晶ディスプレイ表示
・PCL:
- 写真画質でのSEM像取込み
- 各種画像フォーマット変換
- 各種表示(サムネール,オーバーレイ,スライドショー)
- 画像処理(輝度,明度,コントラスト,スムージング etc)
- 計測(2点間測長,角度計測)
- 書込(オリジナルミクロンマーカ,オリジナルテキスト,フリーハンド)
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