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SIMS
二次イオン質量分析装置（CAMECA IMS-6F）
(Secondary-Ion Mass Spectrometer; SIMS)
【用途の大要】
セシウム、ガリウム、酸素等の一次イオンビーム照射により、試料表面でスパッタ現象により放出される二次イオンを質量分析して、試料に含まれる元素の表面分布、深さ方向分布を調べる表面・局所分析装置です。
原理的には、水素を含む全元素を分析できることが特徴です。
工学系の需要も多い装置ですが、試料表面の元素分布を二次イオンの画像として測定する方法（イオン顕微鏡）が生物試料に応用されて、形態学系の研究に使用されています。
【仕様】
- 一次イオン照射系
- イオン種：O2+，Cs+，Ga
- イオン銃：ガスソース銃（O2），表面電離型銃（Cs）
- 加速電圧：0.6〜10kV
- ビーム径：1μm
- 二次イオン光学系
- 質量分析器：２重収束セクター型
- 質量範囲：1〜256 amu
【使用上の注意】
- 操作、調整に熟練が必要な装置です。利用希望がある場合は、事前に管理担当者にお問い合わせ下さい。
【利用料金】
【管理担当者】
- 川原 昌彦 (内線 7176，E-mail: kawahara 続けて@cts.u-toyama.ac.jp)
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暫定改訂（10/12/2007）
生命科学先端研究センター 分子・構造解析施設（旧実験実習機器センター）