| 二次電子分解能 |
- 15 Å(1.5 nm) （30 kv WD = 7 mm）
- 50 Å(5.0 nm) （1 kv WD = 3 mm）
|
| 倍率 |
- 高倍率モード：×50 〜 ×500,000
- 低倍率モード：×20 〜×1,500
|
| 電子光学系 |
- 電子線源：冷陰極電界放射形電子銃
- 加速電圧：0.5 〜 30 kV（100 V ステップ）
|
| 試料サイズ |
|
| 付属機器等 |
- 透過電子検出器
- アニュラー形反射電子検出器
- ラスターローテーション
- モノクロイメージプリンター（感熱記録）
- PC Monitor / PCL システム（平成19年度改修・更新）
・PC Monitor：CRT・SEM 像のデジタル化，液晶ディスプレイ表示
・PCL：
- 写真画質でのSEM像取込み
- 各種画像フォーマット変換
- 各種表示（サムネール，オーバーレイ，スライドショー）
- 画像処理（輝度，明度，コントラスト，スムージング etc）
- 計測（２点間測長，角度計測）
- 書込（オリジナルミクロンマーカ，オリジナルテキスト，フリーハンド）
|
